可確保精度范圍在±1%S.P.（設定值）的高性能數(shù)字通訊質(zhì)量流量控制器。可搭載的選配規(guī)格包括：液化氣體、小流量 F.S.、大流量范圍、表面實裝和接頭名稱。

使用范例

半導體生產(chǎn)前端工藝

由于CVD（化學氣相沉積法）、ALD（原子層沉積法）鍍膜設備和蝕刻設備中使用高活性氣體，因此具有高耐腐蝕性金屬密封的氣體質(zhì)量流量控制器至關重要。

此外，前驅(qū)體在常溫常壓下含有大量液化氣體，因此具有耐熱性且不易液化的閥門結構很重要。 選擇LINTEC高性能質(zhì)量流量控制器MC-3000L，則可選配【液化氣體】【*高工作溫度50°C（可選至55°C）】等相應規(guī)格。

分析設備

分析設備可能需要控制極小流量，但一般質(zhì)量流量控制器的*小F.S.為5SCCM，因此無法對應。 MC-3000L高精度質(zhì)量流量控制器可選配F.S.1SCCM或更低流量范圍。

此外，高性能質(zhì)量流量控制器MC-3000L還標配死體積較小的隔膜閥。

詳情請致電或郵件咨詢。

規(guī)格表

Lintec 琳得科 高性能數(shù)字通訊質(zhì)量流量控制器 MC-3000L